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    產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:桌面型單靶磁控鍍膜儀

    • 產(chǎn)品型號:CY-MSP180S-DC-GU
    • 產(chǎn)品廠商:泰諾
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過小型化設(shè)計,將設(shè)備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)。真空腔體整體采用下置靶設(shè)計,濺射效果好,雜質(zhì)污染少,能*大限度的保護(hù)樣品。
    詳情介紹:

    本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過小型化設(shè)計,將設(shè)備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)。真空腔體整體采用下置靶設(shè)計,濺射效果好,雜質(zhì)污染少,能*大限度的保護(hù)樣品。

    桌面型靶下置型磁控鍍膜技術(shù)參數(shù):

    CY-MSP180S-DC-GU

    樣品臺

    尺寸

    φ100mm

    加熱

    *高500

    轉(zhuǎn)速

    0-20可調(diào)

    安裝方式

    上置于腔體上蓋,樣品安裝為夾持式

    磁控濺射靶

    數(shù)量

    2” x1 下置安裝與腔體下法蘭

     

     

    真空腔體

    腔體尺寸

    φ180mm X 215mm

    觀察窗口

    前置式 φ60mm

    腔體材料

    SS304

    開啟方式

    上頂開式

    真空系統(tǒng)

    機(jī)械泵

    旋片泵

    抽氣接口

    KF16

    分子泵

    渦輪分子泵

    抽氣接口

    KF40

    真空測量

    電阻規(guī)+電離規(guī)

    排氣接口

    KF16

    極限真空

    1.0E-4Pa

    供電電源

    AC 220V 50/60Hz

    抽氣速率

    機(jī)械泵1.1L/s  分子泵60L/s

    電源配置

    數(shù)量

    直流電源 x1

    *大輸出功率

    直流電源300W

     

    其他

    供電電壓

    AC220V,50Hz

    整機(jī)尺寸

    550mm X 350mm X400mm

    整機(jī)功率

    2kW

     

     

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