0371-5536 5392 0371-5519 9322
○ 產(chǎn)品介紹
該三溫區(qū)CVD氣相沉積系統(tǒng)主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)性燒結(jié)、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實(shí)驗(yàn)。
○ 適用范圍
主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)性燒結(jié)、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實(shí)驗(yàn)。
○ 產(chǎn)品特點(diǎn)
1、造型優(yōu)美 做工精細(xì)；
2、測溫精準(zhǔn) 控溫穩(wěn)定；
3、超高溫加熱元件 工作溫度可高達(dá)1650℃；
4、產(chǎn)品豐富 有多種型號供您選擇。
○ 技術(shù)參數(shù)
加熱溫度
三溫區(qū) 獨(dú)立控溫
密封方式
水冷式真空法蘭
溫區(qū)長度
L:190mm;M:250mm;R:190mm;
真空系統(tǒng)
防返油式雙極旋片泵
工作溫度
L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;
系統(tǒng)真空
5～10Pa（如需更高真空度可選配其它泵）
加熱爐管
高純剛玉外徑60mm，長度1300mm
制冷方式
9L水冷機(jī)
氣體通道
三通道質(zhì)量流量計(jì)
控溫系統(tǒng)
多段可編程智能控溫，控溫精度±1℃
氣體量程
A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM
供電電源
AC:220V 50Hz
真空檢測
進(jìn)口數(shù)字真空計(jì)
備 注
如有其它要求 可按要求定制
○ 免責(zé)聲明
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